Мас-спектрометр вторинних іонів IMS-3f (CAMECA, Франция)

Мас-спектрометр вторинних іонів IMS-3f
(CAMECA, Франція)

Специфікація:

Джерела іонів – O2+, Ar+, O-;

Енергія первинного іонного пучка – від 3 до 17.5 кВ;

Струм первинного іонного пучка (для O2+ джерела) – до 1.3 мкA;

Мінімальний діаметр первинного іонного пучка – близько 1 мкм;

Розмір растру первинного іонного пучка – до 500 x 500 мкм;

Полярність вторинних іонів – негативна або позитивна;

Масова роздільна здатність – до 30 000;

Чутливість – до 100% рівня суб-ppb.

Типи досліджень, які ми проводимо:

Точковий та растровий елементний аналіз;

Точковий та растровий ізотопний аналіз;

Лінійне профіль;

Карти розподілу мас;

Глибинне профіль;

Аналіз розподілу енергій вторинних іонів.

Мас-спектрометр вторинних іонів IMS-3f
(CAMECA, Франція)